韓国企業、半導体EUV工程の主要原料商用化に初成功 - KED Global - The korea economic daily

PGMEAは、半導体用シンナー（thinner）で製造され、EUV露光工程で極紫外線感光反応が起きていない部分についた感光物質（フォトレジスト）を洗い流す役割を関連キーワードはありません