有害物質は不要、水でフォトリソグラフィーを可能に――微細加工技術を環境に優しく

研究チームは、従来の有害物質の代わりに水を活性化剤として使用する、環境に優しい微細加工法を開発した。この技術は、塩を利用した光化学合成プロセスを新たに関連キーワードはありません