【地方発明表彰】リガク、X線装置が特別賞2件を2年連続受賞 - 加工技術研究会

汚染物質を非破壊かつ高感度・高速で検出ができる ... 従来の全反射蛍光X線分析(TXRF)ではウェーハエッジ付近の正確な汚染物質の定量を行うことが困難であった。関連キーワードはありません