高い圧電性能を持つ窒化アルミニウム系薄膜を開発 下地層を活用 - MONOist

産業技術総合研究所は、物質・材料研究機構との共同研究で、高い圧電性能を持つ窒化アルミニウム系薄膜を開発した。薄膜と同じ結晶構造を持つ下地層を用いる関連キーワードはありません