PFASフリー半導体に取り組むimec、フォトレジストで成果 - 日経クロステック（xTECH）

PFAS（有機フッ素化合物）が、半導体業界を揺るがしている。同物質は半導体製造の露光工程で使われる材料などに含まれるが、人体や環境への被害が明らかになり関連キーワードはありません