従来技術では限界 先端ノード化が廃ガスを複雑化、半導体廃ガス軽減システム、CAGR 9.4 ...

半導体産業では、エッチング、CVD、フォトリソグラフィといったプロセスで多種多様な廃ガスが発生し、その中には温室効果ガスや人体に有害な物質が含まれる。関連キーワードはありません