従来評価困難だった半導体配線界面の化学構造変化の直接可視化に成功 ～AFM-IRによりCu ...

※4 赤外分光法赤外線を物質に照射し、吸収スペクトルを解析することで、化学構造や成分を特定する分析手法。 ※5 AFM(原子間力顕微鏡) 試料表面と探針の間に働く関連キーワードはありません