MEMS一体型単結晶ダイヤモンド量子センサー実現：微小カンチレバー内にNVセンター

東北大学の研究グループは、物質・材料研究機構（NIMS）と共同で、量子センシング機能と機械構造を単一のダイヤモンドMEMS内部に集積するための技術を開発関連キーワードはありません