AIチップ生産と先端ファブの拡張が高純度プロセスガスシステムの需要を促進 - ドリームニュース

水分、酸素、炭化水素、パーティクル、金属汚染物質、その他の不純物がごく微量に存在するだけでも、成膜、エッチング、酸化などの重要なプロセスに影響を及ぼす関連キーワードはありません