酸化物で金並み導電性…最先端半導体に提案、微細配線材の実力 - ニュースイッチ

物質・材料研究機構の原田尚之独立研究者は、酸化物で金並みの導電性を持つ微細配線材料を開発した。２７ナノメートル（ナノは１０億分の１）の膜厚で電気抵抗が４関連キーワードはありません