誤差数㎚実現…物材機構、電顕試料の厚みを制御する新手法 - ニュースイッチ

物質・材料研究機構（ＮＩＭＳ）の埋橋淳主幹エンジニアと大久保忠勝グループリーダーらは、電子顕微鏡の試料の厚みを制御する手法を開発した。関連キーワードはありません