600Kでも安定動作するGaN系MEMS振動子を開発

物質・材料研究機構（NIMS）は、600K（約326℃）の高温でも安定して動作するGaN（窒化ガリウム）系MEMS振動子を開発した。5G（第5世代移動関連キーワードはありません