PFAS規制の強化で半導体業界から悲鳴、代替品や無害化技術の開発が急務

PFASは、有機フッ素化合物のうち、半導体製造などに使われるペルフルオロアルキル化合物およびポリフルオロアルキル化合物を総称した化学物質（図1）。近年関連キーワードはありません