微粒子が見える 半導体製造装置に実装可能な小型光源：粗大粒子から0.1μmサイズまで対応

パーティクルラボは、半導体製造工程などで発生するサブミクロンのコンタミネーション（汚染物質）を可視化できる「小型光源」を開発した。関連キーワードはありません