KURAGE online | 物質 の情報 > 化学ガス 「 化学ガス 」 の情報 半導体回路の道を作る「エッチング工程」 2020/12/16 2種類, ウェットエッチング, エッチング, エッチング工程, 化学ガス, 液体, 物質 エッチング工程は、エッチングに使用される物質によって大きく2種類に分けられます。液体を使用する「ウェットエッチング」と、化学ガスまたは