東京エレクトロン、フジキン、TMEICにて新型オゾンガス濃度モニターを開発、オゾン発生装置へ ...

1. LED UVランプ方式の濃度モニターを開発し、従来同等以上の高い信頼性を有する性能が得られます。 2. 水銀を使用しない方式のため、環境有害物質フリーを実現関連キーワードはありません